Rapid Thermal Processing of Semiconductors
indgår i Microdevices serien
- Indbinding:
- Paperback
- Sideantal:
- 358
- Udgivet:
- 20. juni 2013
- Udgave:
- 11997
- Størrelse:
- 234x156x20 mm.
- Vægt:
- 587 g.
- 8-11 hverdage.
- 10. december 2024
Normalpris
Abonnementspris
- Rabat på køb af fysiske bøger
- 1 valgfrit digitalt ugeblad
- 20 timers lytning og læsning
- Adgang til 70.000+ titler
- Ingen binding
Abonnementet koster 75 kr./md.
Ingen binding og kan opsiges når som helst.
- 1 valgfrit digitalt ugeblad
- 20 timers lytning og læsning
- Adgang til 70.000+ titler
- Ingen binding
Abonnementet koster 75 kr./md.
Ingen binding og kan opsiges når som helst.
Beskrivelse af Rapid Thermal Processing of Semiconductors
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions.
Brugerbedømmelser af Rapid Thermal Processing of Semiconductors
Giv din bedømmelse
For at bedømme denne bog, skal du være logget ind.Andre købte også..
Find lignende bøger
Bogen Rapid Thermal Processing of Semiconductors findes i følgende kategorier:
© 2024 Pling BØGER Registered company number: DK43351621