Prozesstechnologie
- Fertigungsverfahren Fur Integrierte Mos-Schaltungen
indgår i Mikroelektronik serien
- Indbinding:
- Paperback
- Sideantal:
- 500
- Udgivet:
- 8. marts 1991
- Udgave:
- 11991
- Størrelse:
- 244x170x27 mm.
- Vægt:
- 821 g.
- 8-11 hverdage.
- 9. december 2024
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Beskrivelse af Prozesstechnologie
Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
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