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Prozesstechnologie

- Fertigungsverfahren Fur Integrierte Mos-Schaltungen

Bag om Prozesstechnologie

Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

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  • Sprog:
  • Tysk
  • ISBN:
  • 9783540176701
  • Indbinding:
  • Paperback
  • Sideantal:
  • 500
  • Udgivet:
  • 8. marts 1991
  • Udgave:
  • 11991
  • Størrelse:
  • 244x170x27 mm.
  • Vægt:
  • 821 g.
  • 8-11 hverdage.
  • 20. november 2024

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Beskrivelse af Prozesstechnologie

Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

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