De Aller-Bedste Bøger - over 12 mio. danske og engelske bøger
Levering: 1 - 2 hverdage
Hjælp
Login
  1. Forside
  2. Bøger
  3. Business og læring
  4. Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

af Stephan Altmannshofer
Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie. af Stephan Altmannshofer
Bag om Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.

Vis mere
  • Sprog:
  • Tysk
  • ISBN:
  • 9783839614433
  • Indbinding:
  • Paperback
  • Sideantal:
  • 230
  • Udgivet:
  • 18. marts 2019
  • Størrelse:
  • 210x148x12 mm.
  • Vægt:
  • 281 g.
  • 2-4 uger.
  • 6. december 2024

Normalpris

Abonnementspris

- Rabat på køb af fysiske bøger
- 1 valgfrit digitalt ugeblad
- 20 timers lytning og læsning
- Adgang til 70.000+ titler
- Ingen binding

Abonnementet koster 75 kr./md.
Ingen binding og kan opsiges når som helst.

Bag om Stephan Altmannshofer

Vis alle bøger af Stephan Altmannshofer

Beskrivelse af Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.

Brugerbedømmelser af Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.



Andre købte også..
Find lignende bøger
Bogen Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie. findes i følgende kategorier: