Dry Etching for VLSI
- Indbinding:
- Hardback
- Sideantal:
- 237
- Udgivet:
- 31. marts 1991
- Udgave:
- 1991
- Størrelse:
- 254x178x19 mm.
- Vægt:
- 1580 g.
- 8-11 hverdage.
- 30. november 2024
Normalpris
Abonnementspris
- Rabat på køb af fysiske bøger
- 1 valgfrit digitalt ugeblad
- 20 timers lytning og læsning
- Adgang til 70.000+ titler
- Ingen binding
Abonnementet koster 75 kr./md.
Ingen binding og kan opsiges når som helst.
- 1 valgfrit digitalt ugeblad
- 20 timers lytning og læsning
- Adgang til 70.000+ titler
- Ingen binding
Abonnementet koster 75 kr./md.
Ingen binding og kan opsiges når som helst.
Beskrivelse af Dry Etching for VLSI
This book has been written as part of a series of scientific books being published by Plenum Press. This book is unique in that it gives a compact, yet complete, in-depth overview of fundamentals, systems, processes, tools, and applications of etching with gas plasmas for VLSI.
Brugerbedømmelser af Dry Etching for VLSI
Giv din bedømmelse
For at bedømme denne bog, skal du være logget ind.Andre købte også..
Find lignende bøger
Bogen Dry Etching for VLSI findes i følgende kategorier:
© 2024 Pling BØGER Registered company number: DK43351621